型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）
制造时间：2003年
状态：运行极好
技术规格：
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真空腔体尺寸： |
φ1100mmｘH 1600mm |
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φ950 （3～30rpm） |
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耐加热系统： |
φ20mm 4kw |
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蒸发源： |
２ EB Guns (JEOL)
JEBG-102UHO（φ35ccx20）
JST-16F (16kw) |
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IAD 系统： |
无 |
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光学厚度监控器： |
OPM-V1 (monitor glass φ30x30) |
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石英晶体微天平监控器： |
无 |
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真空泵单元： |
MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) |
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加热系统： |
最大350℃±10℃（36kw） |
型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统
制造时间：2003年8月
状态：运行极好
生产厂家：Rock Giken Inc （http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html）
技术规格：
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真空腔体尺寸： |
φ1150mmｘH 1500mm |
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衬底圆顶尺寸： |
φ950 （3～30rpm） |
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耐加热系统： |
φ20mm 4kw |
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蒸发源： |
２EB Guns (Plasma System)
G-12100（φ35ccx20）
D-10001 (10kw) |
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IAD 系统： |
无 |
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光学厚度监控器： |
380～1500nm（波长） (monitor glass φ10x60pcs) |
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石英晶体微天平监控器： |
XTC-2(Inficon) |
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真空泵单元： |
MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) |
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加热系统： |
300℃±10℃（21kw） |
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