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名称：微、纳米划痕测试仪

编号：Pro200897105618

英文名称：Nano/Micro Indentation System

技术参数

技术参数Load
Maximum Force: 400mN
Digital Force: 0.1uN
Load Ranges: ±4mN; ±40mN; ±400mN
Displacement
Maximum Displacement: 200um
Digital Resolution: 0.02nm
Displacement range: 1um; 10um; 100um; 200um
X and Y stage Z stage
Travel: 75mm×75mm 150mm
Digital Resolution: 1um 2um
Rotary stage
Travel: 360º
Position Resolution: 0.03 arcsec

主要特点

1.突破传统硬度测量的局限，通过时时记录压入力值位移，可以对样品表面微区进行压痕实验，从而获得样品微区的力学与能：硬度，弹性膜量等力学性能
2.测试功能：可实时记录法向力／摩擦力／穿透深度／声发射信号／表面接触电阻，从而可对实际样品准确可靠的获得膜与基底的结合力，从而可准确的判定材料的失效点或者评价产品的质量，专利的微划刀，可提供符合ASTM测试标准的划痕硬度的测试，CCD拍摄的全景划痕照片，支持扩展纳米压痕、显微压痕、显微划痕及表面三维成像符合ISO和ASTM测试标准。
3.模块式设计,可根据用户不同要求来升级仪器功能

仪器介绍

该仪器可广泛的应用于材料、薄膜、化工、石油、岩石、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具的材料研究和开发，还可以应用于工业产品的失效与可靠性的评价、质量控制及检验；也可以按所有的ASTM 和多种ISO 的标准进行测量。同时也可以向各类不同领域中的用户提供检测服务

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