Aep Technology                    

编号：Pro2008827112110        
英文名称：PROFILER        

接触式轮廓仪

用途：1.表面形貌 2.三维表面结构（定量）3.粗糙度 4.波纹度 5.磨损量 等多种表面形貌技术参数。

设备有三大优势：
1.使用压电陶瓷平台X-Y-Z三方向扫描，针尖高精度大尺寸扫描（500umX500um-tip scan），及样品台大尺寸扫描（100mmX100mm-stage scan）呈现超高垂直分辨（0.1nm）的3维表面图像,
2.摆脱传统台阶仪单一电感测量位移的方式，采用更高精度的扫面探针显微镜光杠杆传感器位移测量技术，并加以改进，使用双光路传感器。在提高测试精度的同时，保证更大尺寸的扫面范围。
3.彩色CCD原位采集设计，可以直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

非接触式/光学轮廓仪
将传统的白光干涉技术同全新的高科技结合，实现了高度的自动化和高精度快速测量。照明模块中的单色光源和白光光源可以分别用于平滑和粗糙表面的检测，即相移扫描和垂直扫描，通过软件自动控制可以实现两光源之间的自控切换，从而实现对各种材料表面的有效测量。

应用领域，目前已经涉及到了摩擦学、材料学、微/纳米器件、MEMS、医学、生物工程、航空航天、环境、地理学、能源、涂料（层）、橡胶、塑料、陶瓷、电子、微电子、光电子、汽车等领域。重点包括以下，
◆ MEMS器件、精密机械部件以及半导体
◆ 材料和工件表面形貌分析与测量
◆ 摩擦学（摩擦磨损）以及腐蚀表面工程等
◆ 生命科学及生物医学材料

主要特点
◆真正的无损三维测量－光学触点不会被损坏表面。
◆ 高速扫描，无须制样，无须真空，金属非金属均可，快速直观，操作方便 。
◆ 基于白光干涉的高精度定量测量，自动调焦。
◆ 先进的综合图象处理软件，致力于采集，分析，统计和可视化数据处理等

技术参数：
◆ RMS重复性（标准模式）：1nm
◆ RMS重复性（精度模式）：0.1 nm
◆ RMS重复性（单波段）：0.05 nm
◆ 最大垂直扫描范围： 10mm ；最大斜度：40°到3.2°
◆ 数据采集速率：最高可到7.2μm/s
◆ 视场：8x10mm（@0.78x）到 0.84x0.063mm（@100x）
◆ 校准精度：超过0.1%；
◆ 微观二维（2D）和三维(3D)形貌
多种测试参数：
◆ 精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）；
◆ 体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）；
◆ 台阶高度；
◆ 粗糙度（二维和三维，线与面）；
◆ 透明膜膜厚；
◆ 薄膜曲率半径(内应力）以及其它几何参数等测量数据。
一、仪器用途
三维形貌测量仪用于测定样品中被测区域的表面粗糙情况与轮廓形貌。
二、仪器类型
本实验室采用法国STIL公司的三维形貌测量仪，应用准共焦法扫描被测样本的表面，测量头不与被测样本表面直接接触。
三、仪器组成和仪器控制
仪器主要由计算机、光学传感器和机械传动机构三部分组成。仪器由计算机控制，试验条件可以预置。测量头有三种运动模式：constant-speed（恒速）、step-by-step（步进）、A-follow-up（垂直跟进），可根据样本的表面轮廓及表面粗糙度情况选择运动模式。测试频率分为四档：30Hz、100Hz、300Hz、1000Hz。
四、仪器可以提供的有关材料表面特征的重要信息
（1）多参数显示：Sa，Sz、Sq、Sp、Ra、Rz、Rq、Rp等；
（2）多功能显示分析：翻转、倾斜旋转、坐标网格显示、等高线等；
（3）自由选择显示倾斜角度、亮度等级等；
（4）三维形貌沿X、Y、Z轴任一轴镜面反转；
（5）三维表面形貌转换为二维平面投影；
（6）局部删除和局部插入功能（剔除异常点）；
（7）局部或合成轮廓自动调平(样品放置不平时，测量可滤除不平的皱纹的影响)；
（8）表面沟谷形貌体积的计算（薄膜打滑即是沟谷太少）；
（9）三维形貌立体实图；
（10）三维形貌立体网格图。



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