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日本MEDIKEN 二手半导体设备列表
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产品
型号
制造年份
技术规格
数量
备注
BIO RAD
（美国伯乐）
FT-IR
QS312
2001
8
英寸晶圆专用，含红外显微镜。
1
套
SMIF Brooks
SMIF
Ergospeed
2002
10
套
菱光社（
RYOKOSHA)
simulation microscope
MSM193
2000
Mask simulation tools, Aerial Image Measurement System. 193nm Mask inspection, Tui-laser excimer laser, Up to 0.18um on wafer
1
套
尼康
外观检查显微镜
LU200-DUV
2002
1μ
毫升
/
秒的超高分辨率，高品质影像捕捉，速度可达
13
帧
/
秒。极微细区域高精度
DUV
外观检查，非接触，非破坏性。
1
套
TECHNOS
全反射
X
射线分析仪
TREX622
2001
基板尺寸
8
英寸，运行到
2008
年
5
月
1
套
TEL
立式扩散炉
α-8S
2002
基板尺寸
8
英寸，运行到
2008
年
5
月
1
套
东京电子
轨道设备
Clean Track ACT-8
2002
基板尺寸
8
英寸，运行到
2008
年
5
月，
SMIF
规格
1
套
东京电子
轨道设备
LITIUS iT
2002
基板尺寸
8
英寸，运行到
2008
年
5
月，
SMIF
规格
1
套
芝浦机电
干法刻蚀设备
ICE200
2002
基板尺寸
8
英寸，运行到
2008
年
5
月，
SMIF
规格
1
套
时间：2009-2-26 9:38:17
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